新三板创新层公司海纳股份新增专利信息授权：“一种低压气相沉积用硅片载舟”

每经讯，据启信宝，新三板创新层公司海纳股份（873995）新增专利信息，专利权人为海纳股份，发明人是张庆旭、吴雄杰、余天威、白超、聂早早、王志雄、徐晖、代明明、刘伟、徐佳俊。专利授权日为2023年6月23日，专利名称为“一种低压气相沉积用硅片载舟”，专利类型为中国实用新型专利，专利申请号为CN202223166032.8。

该专利摘要显示：本实用新型涉及半导体硅片生产技术领域，具体为一种低压气相沉积用硅片载舟，包括舟体和靠板，舟体包括支架、下刻槽石英棒、与下刻槽石英棒相连的左刻槽石英棒、右刻槽石英棒，靠板尺寸小于加工硅片尺寸，其外形为等边三棱柱。本实用新型可以实现卧式低压气相炉沉积过程中硅片“背靠背”生长，极大的提高了加工效率，硅片倾斜放置可以避免生长多晶硅膜一面与石英舟的直接接触，略小于加工硅片的尺寸可以减少在沉积后取样过程中对多晶硅薄膜的物理破坏。本实用新型具有使用效果好、结构简单、成本低廉之优点。

(记者 曾健辉)

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