每日经济新闻 2023-06-25 21:47:58
每经讯,据启信宝,新三板创新层公司富耐克(831378)新增专利信息,专利权人为富耐克,发明人是雷君、王彬彬、李和鑫。专利授权日为2023年6月23日,专利名称为“一种晶片抛光用耐磨抛光垫”,专利类型为中国实用新型专利,专利申请号为CN202223278384.2。
该专利摘要显示:一种晶片抛光用耐磨抛光垫,涉及抛光技术领域,包括基体,基体的材质为聚晶立方氮化硼,基体的上表面形成抛光面,抛光面上均匀分布有若干凸起,相邻两凸起之间形成沟槽,本实用新型提供的抛光垫硬度均匀性一致,耐磨性及导热性优异,显著提高材料的物理机械性能,满足强度和韧性的基础上,具备较低的内生热及更好的动态性能,使其更适用于高速、高承载等动态性能要求高的工作环境中;且聚晶立方氮化硼抛光垫表面立体的结构,能够减少抛光垫与晶圆的相互机械作用力,促进热量的疏散,同时沟槽有助于抛光后的残渣或抛光副产物的及时排出,不存在阻塞抛光垫表层中的微孔问题。
(记者 曾健辉)
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