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天准科技:全资子公司Muetec专注于半导体前道晶圆量测设备

每日经济新闻 2023-09-12 08:46:33

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:公司有产品应用于光刻机产业链吗?谢谢

天准科技(688003.SH)9月12日在投资者互动平台表示,天准全资子公司Muetec专注于半导体前道晶圆量测设备,主要产品包括套刻误差量测设备、掩模版量测检测设备、半导体晶圆红外量测检测设备等;天准参股的苏州矽行半导体专注于半导体前道晶圆检测设备。

(记者 蔡鼎)

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