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天准科技:全资子公司MueTec的产品面向半导体前道晶圆的量测与检测

每日经济新闻 2023-06-15 16:15:26

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:公司子公司MueTec半导体公司生产的设备Argos系列、Rembrandt系列,是否可在光刻过程中对所有晶圆进行100%的检测?

天准科技(688003.SH)6月15日在投资者互动平台表示,公司全资子公司MueTec的产品面向半导体前道晶圆的量测与检测,其中Argos系列、Rembrandt系列属于宏观瑕疵检测设备,可以实现部分工艺制程的的检测。

(记者 蔡鼎)

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