新三板创新层公司阳光中科新增专利信息授权：“一种具有高温带的ALD喷淋组件”

每经讯，据启信宝，新三板创新层公司阳光中科（838982）新增专利信息，专利权人为阳光中科，发明人是陈泽其、吴旭荣、陈阳泉、戴亮亮、卢发树、柯雨馨、许光荣。专利授权日为2023年8月29日，专利名称为“一种具有高温带的ALD喷淋组件”，专利类型为中国实用新型专利，专利申请号为CN202222552531.4。

该专利摘要显示：本实用新型公开了一种具有高温带的ALD喷淋组件，包括基板，用于容置待加工件；锁紧件，用于ALD(Atomic layer deposition，ALD)工序中ALD喷淋组件的固定；高温带，位于所述基板的上表面，用于使ALD喷淋组件和ALD设备内腔体端面紧密贴合；所述ALD喷淋组件，用于PERC(Passivated Emitter and Rear Cell，PERC)太阳能电池的ALD方式氧化铝膜沉积。因此，本申请实现了ALD喷淋组件和内腔体的端面贴合更好，提高ALD设备内腔体气密性，提高产线良率，以及改善了内腔体端面和ALD喷淋组件沉积过多的氧化铝。

(记者 曾健辉)

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