炬光科技：公司光场匀化器供应给世界顶级光学企业A公司

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：公司在为荷兰ASML核心供应商A公司提供光刻机用光场匀化器、半导体晶圆激光退火系统与核心元器件的同时，是否也将此类产品提供给上海微电子等国产自主光刻机的研发和制备上？另外，和A公司在光刻机用光学模组等新品类上的深度合作是否在稳步推进中？

炬光科技（688167.SH）3月22日在投资者互动平台表示，公司多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器（招股书中“光场匀化器——光刻应用”），供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。同时，公司与国内在这一领域的研发单位有广泛合作。公司在招股书“与半导体光刻产业的融合情况”中原文“公司是A公司重要供应商。同时也为中国科学院、上海微电子装备（集团）股份有限公司、美国科磊半导体等行业知名半导体集成电路设备科研和生产机构提供相关产品。” 2022年起得益于半导体市场DUV光刻市场需求强烈，终端客户产能扩张迅速，应客户要求公司已于2022年在德国完成产能扩充，未来公司在A公司的市占率将进一步提升，同时公司与A公司也有意向进一步往光学模组等产品品类展开合作，双方合作在稳步推进中，客户项目进展情况请以公司披露信息为准。

(记者 姚祥云)

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