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炬光科技:公司多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器

每日经济新闻 2023-03-20 19:16:54

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:您好,请问贵公司产品是否可以用于光刻机?

炬光科技(688167.SH)3月20日在投资者互动平台表示,公司多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件——光场匀化器(招股书中“光场匀化器——光刻应用”),供应给世界顶级光学企业A公司,最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。同时,公司与国内在这一领域的研发单位有广泛合作,公司的光场匀化器产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。

(记者 王瀚黎)

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