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南大光电:公司ArF光刻胶目前主要集中在90nm-28nm制程工艺的验证

每日经济新闻 2023-03-21 15:19:00

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:请问老师,现目前贵司光刻胶验证转成客户自验或者外部机构验证,从理论上讲是可以提升一个档次,用于14nm验证了。在国内先进制程芯片代工企业,缺陷检测分析仪器是不缺的,请问贵司现目前有没打算在14nm制程去验证呢?

南大光电(300346.SZ)3月21日在投资者互动平台表示,公司ArF光刻胶目前主要集中在90nm-28nm制程工艺的验证,产品质检主要依靠公司购置的光刻机及其他辅助检测设备。

(记者 陈鹏程)

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