南大光电：公司ArF光刻胶聚焦28nm-90nm工艺验证，涉及的主要检测设备如光刻机已经正常投入使用

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问公司2年来一直没有买到的光刻胶缺陷检测仪是否是公司光刻胶得到客户验证量产绕不过的必要条件？如果公司一直没有光刻胶缺陷检测仪，那么公司所试生产的光刻胶是否就一直得不到客户的验证而无法进行量产？公司延期一年的募投项目光刻胶能否如期到今年年底量产？如果依旧不能量产的话，募投项目是否再次延期还是直接计提投资损失？

南大光电（300346.SZ）12月2日在投资者互动平台表示，缺陷检测仪主要针对28nm以下工艺制造的光刻胶检测，目前公司ArF光刻胶聚焦28nm-90nm工艺验证，涉及的主要检测设备如光刻机已经正常投入使用。 

(记者 毕陆名)

免责声明：本文内容与数据仅供参考，不构成投资建议，使用前核实。据此操作，风险自担。