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上海新阳：公司开发的晶圆制造用化学机械研磨液主要包括适用于浅槽隔离研磨液、金属钨研磨液等系列产品

每日经济新闻 2025-07-11 11:50:24

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问公司是否有抛光液产品？如没有，后续是否考虑在此方向布局？

上海新阳（300236.SZ）7月11日在投资者互动平台表示，公司开发的晶圆制造用化学机械研磨液主要包括适用于浅槽隔离研磨液（STI Slurry）、金属钨研磨液（W Slurry）、金属铜研磨液（Cu Slurry）、硅氧化层研磨液（Oxide Slurry），多晶硅层研磨液（Poly Slurry）等系列产品，可覆盖 14nm 及以上技术节点。

（记者王晓波）

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