新三板创新层公司元泰智能新增专利信息授权：“一种晶圆取料机构用密封驱动装置”

每经讯，据启信宝，新三板创新层公司元泰智能（839156）新增专利信息，专利权人为元泰智能，发明人是贺竞人、朱俊杰、杜王杰。专利授权日为2024年2月23日，专利名称为“一种晶圆取料机构用密封驱动装置”，专利类型为中国实用新型专利，专利申请号为CN202323584111.5。

该专利摘要显示：本实用新型公开了一种晶圆取料机构用密封驱动装置，其包括驱动模组以及将所述驱动模组包围在内的防护壳体；所述驱动模组的活动末端设置有活动安装板，所述防护壳体的侧方设置有一条活动通槽，所述活动安装板的一端伸入至所述防护壳体内固定在所述驱动模组的活动末端且另一端延伸伸出所述活动通槽，所述防护壳体内设置有随所述活动安装板随动的遮尘带，所述遮尘带遮挡在所述活动通槽区域；所述防护壳体的底部设置有吸尘管，所述吸尘管连通吸尘装置。本实用新型能够有效的防止驱动装置内部的机械结构因为摩擦而产生的粉尘外溢到外部而污染晶圆，大大提高了密封效果。

(记者 曾健辉)

免责声明：本文内容与数据仅供参考，不构成投资建议，使用前核实。据此操作，风险自担。