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新三板创新层公司中科仪新增专利信息授权:“一种钛升华泵用的常温冷阱结构”

每日经济新闻 2023-08-02 21:54:20

每经讯,据启信宝,新三板创新层公司中科仪(830852)新增专利信息,专利权人为中科仪,发明人是张颖志、王启佳、袁方、赵崇凌。专利授权日为2023年8月1日,专利名称为“一种钛升华泵用的常温冷阱结构”,专利类型为中国实用新型专利,专利申请号为CN202320281647.0。

该专利摘要显示:本实用新型属于钛升华泵领域,具体地说是一种钛升华泵用的常温冷阱结构,包括大法兰焊件、小法兰焊件、冷阱筒焊件、挡板焊件及波浪板焊件,冷阱筒焊件的一端与大法兰焊件的一端相连,大法兰焊件的另一端连接真空腔室,冷阱筒焊件的另一端与小法兰焊件的一端相连,小法兰焊件的另一端连接钛升华器;大法兰焊件与冷阱筒焊件的连接处设有挡板焊件,挡板焊件可拆卸地安装于冷阱筒焊件内部,挡板焊件阻挡钛升华器升华的钛溢出到真空腔室内;波浪板焊件容置于冷阱筒焊件内,波浪板焊件具有增加吸附钛蒸汽表面积的多个波浪。本实用新型的波浪圆板使钛升华器的吸附表面积增加了4~6倍,提高了钛升华器的升华速率;挡板焊件避免污染真空腔室,且易于拆卸清洗。

 

(记者 曾健辉)

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