每日经济新闻 2023-07-14 16:29:43
每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问公司电子特种气体可用于光刻领域么？
中船特气（688146.SH）7月14日在投资者互动平台表示，公司生产的混合气主要应用于大规模集成电路和显示面板制造过程中的光刻、退火等多个工艺。基于自身掌握的纯化和混配技术，公司混合气产品组分纯度可达6N，目前已实现30余种电子混合气的量产供应。
(记者 王可然)
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