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万业企业:目前公司旗下凯世通的离子注入机订单均为集成电路离子注入机

每日经济新闻 2023-06-13 18:10:06

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:董秘好,请问公司控股的凯世通生产的离子注入机有哪几款产品,官网看到只有3款,还都是光伏的离子注入机,公司有集成电路的离子注入机?

万业企业(600641.SH)6月13日在投资者互动平台表示,目前公司旗下凯世通的离子注入机订单均为集成电路离子注入机。凯世通产品已覆盖逻辑、存储、功率等多个应用领域方向,是国内首家集成电路离子注入机大束流和高能离子注入机获得验证验收的设备企业,拥有高能离子注入、超低温离子注入设备等核心关键机型,且持续领跑国产低能大束流和高能离子注入机系列产品的产业化进程。

(记者 毕陆名)

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