南大光电：公司氟类电子特气如三氟化氮主要用于芯片制造中的腔体清洗、蚀刻工艺

每日经济新闻 2023-04-04 16:41:54

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：麻烦问下，咱南大光电产品系中，除了光刻外，在芯片的清洁、沉积、蚀刻等，还有对应的产品吗？

南大光电（300346.SZ）4月4日在投资者互动平台表示，公司氟类电子特气如三氟化氮主要用于芯片制造中的腔体清洗、蚀刻工艺。

(记者王可然)

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