钢研纳克：公司的场发射扫描电镜可用于芯片集成电路领域

每日经济新闻 2023-03-30 17:05:25

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：你好！请问公司哪些仪器设备可以用于芯片集成电路领域检测？

钢研纳克（300797.SZ）3月30日在投资者互动平台表示，公司的场发射扫描电镜可用于芯片集成电路领域，如，光刻胶缺陷分析、硅片表面残留等；电感耦合等离子体质谱可用于高纯靶材检测、高纯试剂分析等。

(记者陈鹏程)

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