每日经济新闻 2023-03-22 17:06:08
每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：公司募集资金采购的上海微电子Arf干式光刻机属于前道光刻机吗？是否可用于逻辑芯片的生产？
燕东微（688172.SH）3月22日在投资者互动平台表示，公司募集资金用于12吋晶圆生产线建设，月产能 4 万片，工艺节点为 65nm，产品定位为高密度功率器件、显示驱动 IC、电源管理 IC、硅光芯片等。
(记者 陈鹏程)
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