晶瑞电材：公司子公司瑞红（苏州）电子化学品股份有限公司共拥有以5台光刻机为核心的光刻胶研发测试平台

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：您好，请问krf光刻胶是否已经进入了量产，客户通过验证了没有？另外，arf光刻机是否21年就已经购入？目前研发进展如何？有没有缺陷检测仪等相关设备？今年arf是否可以投入认证？

晶瑞电材（300655.SZ）3月13日在投资者互动平台表示，公司子公司瑞红（苏州）电子化学品股份有限公司共拥有以5台光刻机为核心的光刻胶研发测试平台，覆盖紫外宽谱、g线、i线、KrF及ArF光刻胶检测，可为公司产品研发测试、客户验证等提供全面的核心设备保障。公司KrF高端光刻胶部分品种已量产；ArF高端光刻胶研发工作已启动。关于公司产品研发和客户认证进展，请关注公司定期报告等公告。

(记者 陈鹏程)

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