南大光电：公司ArF光刻胶正在多家下游客户处进行验证

每日经济新闻 2022-11-11 15:10:21

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：老师，请问验证14-28nm的光刻胶缺陷检测仪器美国已不能购买，国内最早能替代的机器什么时侯能开发出？

南大光电（300346.SZ）11月11日在投资者互动平台表示，公司ArF光刻胶正在多家下游客户处进行验证，具体进展请见相关信息披露。

(记者陈鹏程)

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