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奥普光电:公司子公司禹衡光学光栅尺精度与海德汉对标,理论上可以应用到芯片制造和封装的测量辅助系统

每日经济新闻 2022-08-30 13:54:06

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:请问公司的光栅尺精度能达到多少,理论上能应用到芯片制造和封装的测量辅助系统吗?

奥普光电(002338.SZ)8月30日在投资者互动平台表示,公司子公司禹衡光学光栅尺精度与海德汉对标,指标为±3μm/m等级,实际可达到±2μm/m以内,理论上可以应用到芯片制造和封装的测量辅助系统。

(记者 曾健辉)

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