每日经济新闻 2022-08-19 16:15:29
每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问：21年3月芯刻微购买，用于研发分辨率达28nm ArF湿法光刻胶的ASMLXT1900Gi型二手光刻机安装调试是否完成？这台光刻机价值多少? 另外28nm ArF湿法光刻胶研发进展如何是否有送样客户端验证？
上海新阳（300236.SZ）8月19日在投资者互动平台表示，公司采购的ASMLXT1900Gi型光刻机尚处于调试状态；ArF浸没式光刻胶产品已有样品在测试阶段。
(记者 陈鹏程)
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