每日经济新闻 2022-07-30 22:12:39
每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问光刻胶进展不及预期的原因是什么？如何解决？
晶瑞电材（300655.SZ）7月29日在投资者互动平台表示，公司KrF（248nm深紫外）光刻胶产品分辨率达到了0.25～0.13μm的技术要求，已通过部分重要客户测试，KrF光刻胶生产及测试线已经基本建成，设备正在安装调试中，争取今年批量供货。同时公司ArF光刻胶研发工作正在有序开展。
(记者 贾运可)
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