每日经济新闻 2022-05-13 13:28:27
每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：光刻胶检测设备买到了吗？现在有什么进展？最近有没验证通过的
南大光电（300346.SZ）5月13日在投资者互动平台表示，目前主要的检测设备如光刻机已经安装并投入使用。符合公司要求的缺陷检测设备目前市场上比较稀缺，公司正在努力推进采购工作。 ArF光刻胶验证工作在顺利推进中，具体进展请关注相关信息披露。
(记者 尹华禄)
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