每日经济新闻 2022-05-05 09:12:13
每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：公司您好！请问公司向A公司的光刻系统提供光场匀化器，该光刻系统的光的波长是多少（例如365nm以上、248nm、193nm、EUV的13.5nm）？谢谢！
炬光科技（688167.SH）5月5日在投资者互动平台表示，公司的光场匀化器产品供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。公司是根据不同客户需求，匹配不同波长的光场匀化器，覆盖了DUV全部波长。公司光场匀化器产品目前没有用于EUV光刻机。EUV光刻机和DUV光刻机光学工作原理不同。
(记者 尹华禄)
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