每日经济新闻 2022-04-03 08:11:50
每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：“电子束量测设备以及明场晶圆有图形缺陷检测设备已取得订单，OCD量测设备目前客户端已顺利通过验证” ，这是去年7月给中芯国际验证的那2台吗？是否说明验证已经通过，而且中芯下了后续订单。
精测电子（300567.SZ）4月3日在投资者互动平台表示，上海精测膜厚产品（含集成式膜厚产品）已取得国内一线客户的批量重复订单，电子束量测设备以及明场晶圆有图形缺陷检测设备已取得订单，OCD量测设备目前客户端已顺利通过验证。
(记者 张喜威)
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