精测电子：公司在明场设备领域的研发目标主要针对28nm等国内主流制程的关键零组件与整机系统的研发

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：公司将原持有100%控股的精积微变成了持股20%几的公司，这里面是否涉及利益输送？是否侵害了上市公司利益？公司未来是否有提高股权比例的计划

精测电子（300567.SZ）3月18日在投资者互动平台表示，目前公司在半导体前道量测领域主要产品包括膜厚、OCD、电子束以及在研的形貌量测等设备均属于上海精测半导体技术有限公司（以下简称“上海精测”）的业务范围，上海精积微现阶段主要聚焦明场晶圆有图形缺陷检测设备领域（以下简称“明场设备”）相关产品的研究开发以及生产制造等，这类领域技术壁垒高、开发投入大、研发周期以及制造、交付周期均相对较长，资金需求较大，目前都被海外巨头供应商垄断，从技术面到市场面都具备一定的风险，此次增资公司放弃部分优先认购权引入不同的战略合作方风险共担，有利于其获得充裕资金得以开展半导体检测领域相关设备的研发及产品化，有效降低公司及上海精测的投资风险和资金压力，有利于上海精积微下一阶段的良性发展。鉴于上海精积微仍处于持续亏损中，本次增资参照上海精积微评估作价，并严格按照相关规则履行了公司董事会、股东大会审批程序和信息披露义务，不存在损害公司或广大中小股东利益的情形。另外，公司在明场设备领域的研发目标主要针对28nm等国内主流制程的关键零组件与整机系统的研发，各个核心零部件相对于65nm往上的制程都要独立开发，在该领域仍需要持续的高投入。若未来公司如涉相关上海精积微股权增持计划，将严格按照相关规定及时履行信息披露义务。

(记者 尹华禄)

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