每日经济新闻 2022-03-10 17:23:47
每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:请问公司投产的5000吨TFT-LCD光刻胶产能利用率如何?21年4月说月销量已达到100吨。另半导体光刻胶是否已经通过客户验证开始供货(2021-03-14互动平台回复说i线光刻胶正在客户端上机试样验证中,KrF配套光刻胶材料也正在开发中)。有报道称飞凯投资的芬兰PiBond研发出无机光刻胶技术已应用在台积电5nm以下的极紫外光EUV工艺流程中。请问公司有无引进PiBond先进光刻胶技术规划?
飞凯材料(300398.SZ)3月10日在投资者互动平台表示,公司TFT-LCD光刻胶产品产能稼动率会随着市场供需情况变化而相应调整。公司半导体光刻胶以及KrF光刻胶配套材料目前正在客户端验证试样。公司正持续不断与PiBond公司保持联络,目前暂无计划引入其先进光刻胶技术。
(记者 张喜威)
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