每日经济新闻 2022-03-03 16:19:05
每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:公司子公司生产的氖气可以用在光刻机上吗?公司的特气是否超纯度?
凯美特气(002549.SZ)3月3日在投资者互动平台表示,公司电子特气项目采用深冷精馏、物理化学吸附等先进技术设备,生产半导体等领域急需的高品质超高纯电子特种气体和多元混配气。
(记者 姚祥云)
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