2022-03-01 08:57:02
每经讯,据启信宝,新三板创新层公司亚成微(430552)新增专利信息,专利权人为亚成微,发明人是徐永年、杨世红。专利授权日为2022年2月22日,专利名称为“具有温度检测功能的MOSFET结构及制造方法”,专利类型为中国发明专利,专利申请号为CN202111372981.9。
该专利摘要显示:本发明公开了具有温度检测功能的MOSFET结构及其方法,其中,N+衬底包括MOSFET漏极和二极管阴极,N‑外延层层叠于N+衬底的上表面,N‑外延层内经由离子注入形成P型环,P型环包括MOSFET P型耐压环和二极管P型耐压环,栅极沟槽设在MOSFET有源区对应的N‑外延层,栅极沟槽和N‑外延层上均设有栅氧化层,栅氧化层上淀积多晶硅以在栅极沟槽中形成多晶硅栅极,中间介质层层叠于栅氧化层及多晶硅栅极上,此外还蚀刻出多个接触孔,MOSFET源极在MOSFET P型体区的接触孔中经由离子注入后气相淀积金属形成,二极管阳极在二极管P型体区的接触孔中经由离子注入后气相淀积金属形成。
(记者 周宇翔)
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