每日经济新闻 2022-01-19 16:44:38
每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：公司现在已经采购到几台光刻机用于产品研发测试了？分别都是哪种类型的？后续还有哪些光刻胶采购计划？
晶瑞电材（300655.SZ）1月19日在投资者互动平台表示，公司近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试，此前，公司已经购得用于负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机，再加之此次购得的KrF光刻机，公司已经到位5台光刻机。
(记者 姚祥云)
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