启明星（870601）：签订重大合同

2021-12-31 17:32:05

每经讯，启明星12月31日发布公告称，公司近日与中国建筑材料科学研究总院有限公司针对“集成电路制造装备用精密碳化硅陶瓷部件产业化”项目实施相关的专利许可签订了《专利实施许可合同》。此项目针对高端光刻机为代表的集成电路制造装备对精密碳化硅陶瓷的迫切需求，开展精密碳化硅陶瓷部件产业化关键技术研究，攻克精密碳化硅陶瓷部件关键批量制备技术及精密加工技术，形成精密碳化硅陶瓷部件产业化，实现“国产化替代”，摆脱“受制于人”，实现自主可控，为我国集成电路制造装备的国产化奠定基础。

(记者汤辉)

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