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英杰电气:干法去胶和刻蚀设备均需要射频电源,公司目前有射频电源在客户处试用,但目前主要应用于中高端的刻蚀设备领域

每日经济新闻 2021-11-29 15:33:15

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:董秘刘总,您好:贵司有无拓展半导体干法去胶设备电源?干法去胶设备原理与干法刻蚀设备原理相近,其配套电源也属于公司可以拓展领域。谢谢!

英杰电气(300820.SZ)11月29日在投资者互动平台表示,干法去胶和刻蚀设备均需要射频电源,公司目前有射频电源在客户处试用,但目前主要应用于中高端的刻蚀设备领域。

(记者 蔡鼎)

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