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神工股份：公司生产并销售的集成电路刻蚀用大直径单晶硅材料纯度为10到11个9，产品质量核心指标达到国际先进水平，可满足7nm及以下先进制程芯片刻蚀环节对硅材料的工艺要求

每日经济新闻 2021-11-16 10:28:43

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：从年报得知神工从去年开始加工硅电极，并已供应晶圆厂。请问已经量产的晶圆厂是多少纳米制程的？

神工股份（688233.SH）11月16日在投资者互动平台表示，公司生产并销售的集成电路刻蚀用大直径单晶硅材料纯度为10到11个9，产品质量核心指标达到国际先进水平，可满足7nm及以下先进制程芯片刻蚀环节对硅材料的工艺要求。公司硅零部件成品——硅电极主要面对国内市场客户，产品可全面覆盖8英寸、12英寸芯片制程中的CCP设备用硅零部件。

(记者蔡鼎)

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