精测电子：公司子公司上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域，已形成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：＂上海精测膜厚产品（含集成式膜厚产品）已取得国内一线客户的批量重复订单，独立式OCD设备、电子束设备目前客户端验证过程顺利。＂目前客户端验证过程顺利指的是中芯国际吗？大约什么时候可以完成验证？是否验证好了就会有订单？流程大概是如何的呢？多久呢？

精测电子（300567.SZ）11月4日在投资者互动平台表示，公司子公司上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域，已形成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列。量测设备作为晶圆制造工艺核心设备之一，技术壁垒较高，目前市场份额主要被国外的厂商所占据。上海精测膜厚产品（含集成式膜厚产品）已取得国内一线客户的批量重复订单，独立式OCD设备、电子束设备目前客户端验证过程顺利，公司2021年7月份出机中芯国际12寸独立式光学线宽测量设备（OCD）与12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）目前装机完毕，处在正常调试验证过程中，验证完成的具体时间视验证情况而定。

(记者 张喜威)

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