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国林科技:目前90%以上的清洗步骤以湿法工艺为主

每日经济新闻 2021-09-10 10:51:18

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:董秘你好,国内四家半导体芯片清洗公司用的手什么方法清洗?国林自己的半导体芯片清洗技术是国内首家吗?国产代替的潜力大吗?市场空间大吗?

国林科技(300786.SZ)9月10日在投资者互动平台表示,尊敬的投资者,您好。目前半导体清洗行业按照清洗原理可分为干法清洗和湿法清洗,在实际生产过程中一般将湿法和干法两种方法结合使用,目前90%以上的清洗步骤以湿法工艺为主。目前,全球半导体清洗设备市场主要由日美韩企业瓜分,国内清洗设备厂商市场占比不足5%,清洗设备用臭氧发生器国产化率仅为10%左右。公司应用于半导体清洗的高浓度臭氧发生器和半导体用高浓度臭氧水机研发项目进度推进顺利。感谢您的关注。

(记者 袁东)

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