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天准科技董事长徐一华:晶圆前道检测设备领域国内企业差距仍大

每日经济新闻 2021-07-28 21:44:03

每经记者|黄鑫磊    每经编辑|张海妮    

近日,天准科技(688003,SH)董事长徐一华在接受《每日经济新闻》记者采访时表示,晶圆前道检测设备在光学精度、软件算法等方面综合技术壁垒很高,相关市场被科磊(KLA-Tencor)、日立等几家国外企业垄断。

国内虽有少数企业较早进入晶圆前道检测设备领域,着手研发部分产品,但总体而言,国内企业目前与科磊等国外企业差距仍然很大,无法构成实质性威胁,国内晶圆厂依然很大程度上依赖国外品牌的设备,因此前道晶圆检测设备目前是我国半导体产业一个亟需突破的“卡脖子”领域。

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