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利和兴:全自动纳米压印生产线技术是一种图形转移复制技术

每日经济新闻 2021-07-08 17:38:22

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:您好!公司研发的应用在半导体制造、纳米电子等微加工领域的全自动纳米压印光刻技术,为什么叫“光刻”?是什么样的一种微加工方式?应用于半导体芯片、达到的纳米范围多少?谢谢

利和兴(301013.SZ)7月8日在投资者互动平台表示,尊敬的投资者,您好!全自动纳米压印生产线技术是一种图形转移复制技术,是用光刻机或电子曝光机将图形刻到母模板上,然后由母模板制出很多工作模板,该设备把工作模板上的图形转移复制到晶圆或其它材料的工件上。

(记者 易启江)

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