每日经济新闻 2021-06-22 17:55:16
每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问贵公司krf和ark光刻胶研发及产业化进展如何?
晶瑞股份（300655.SZ）6月22日在投资者互动平台表示，您好！公司的KrF光刻胶完成中试，建成了中试示范线，目前已进入客户测试阶段，达到0.15μm的分辨率；公司ArF高端光刻胶研发工作已正式启动，旨在研发满足90-28nm芯片制程的ArF（193nm）光刻胶，满足当前集成电路产业关键材料市场需求。感谢您对公司的关注与支持！
(记者 蔡鼎)
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