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微导纳米：公司是行业内率先为新型存储提供薄膜沉积技术支持的设备厂商之一

每日经济新闻 2025-10-23 21:43:51

每经AI快讯，10月23日，微导纳米在互动平台表示，公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备（ALD）应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商，是国内首批成功开发并进入产业链核心厂商量产线的硬掩膜化学气相沉积设备（CVD）国产厂商，也是行业内率先为新型存储提供薄膜沉积技术支持的设备厂商之一。

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